ST sätter upp lab-in-a-fab för piezo MEMS

"Detta samarbete kommer att påskynda antagandet av piezo MEMS-ställdon i nya användningsområden inklusive MEMS-speglar för smarta glasögon, AR-headset och lidarsystem, PMUTs (piezoelektriska mikromaskinerade ultraljudssändare) för medicinska applikationer och piezo-huvuden för 3D-utskrift," enligt ST.

Det offentlig-privata partnerskapet, som kallas ”Lab-in-Fab”, består av ett nytt renrumsområde inom ST: s Ang Mo Kio-campus och kommer att vara värd för verktyg och dedikerade resurser från de tre parterna, inklusive forskare och ingenjörer. "IMEs kunskapsbas och industriella drivkraft inom piezo-MEMS-enhetsdesign, processintegration och systemintegration kommer att ge mervärde till linjens utveckling", säger ST. "IME kommer också att bidra med avancerade verktyg för att säkerställa ett smidigt produktflöde till produktionen, allt på samma plats."

Anläggningen förväntas köra första skivor under andra kvartalet 2021, med volymproduktion i slutet av 2022.